9031410000
- Instrumenti, aparati in stroji za merjenje ali kontrolo, ki niso navedeni ali zajeti na drugem mestu v tem poglavju; projektorji profilov
- Drugi optični instrumenti in aparati
- za nadzor polprevodniških rezin ali naprav (vključno integrirana vezja) ali za nadzor fotomask ali mrežic, ki se uporabljajo pri proizvodnji polprevodniških naprav (vključno integrirana vezja)