8414101500
- Zračne ali vakuumske črpalke, zračni ali plinski kompresorji in ventilatorji; ventilacijske ali recirkulacijske nape z vgrajenim ventilatorjem, vključno s tistimi, ki imajo filter; nepredušne biološke varnostne omarice, z vgrajenimi filtri ali brez njih
- Vakuumske črpalke
- ki se uporabljajo za proizvodnjo polprevodnikov ali samo ali zlasti za proizvodnjo ravnih ploščatih prikazovalnikov