8414101500
- Pompy powietrzne lub próżniowe, sprężarki i wentylatory powietrza lub innych gazów; okapy wentylacyjne lub recyrkulacyjne z wbudowanym wentylatorem, nawet z filtrami; gazoszczelne komory bezpieczeństwa biologicznego, nawet z filtrami
- Pompy próżniowe
- W rodzaju stosowanych do produkcji półprzewodników lub wyłącznie lub głównie stosowanych do produkcji płaskich wyświetlaczy