8414101500
- Pompe per aria o per vuoto, compressori di aria o di altri gas e ventilatori; cappe aspiranti ad estrazione o a riciclaggio, con ventilatore incorporato, anche filtranti; cabine di sicurezza biologica a tenuta stagna, anche filtranti
- Pompe per vuoto
- dei tipi usati per la fabbricazione di semiconduttori o usati esclusivamente o principalmente per la fabbricazione di dispositivi di visualizzazione a schermo piatto