9031410000
- Mittaus- tai tarkkailukojeet, -laitteet ja -koneet, muualle tähän ryhmään kuulumattomat; profiiliprojektorit
- muut optiset kojeet ja laitteet
- puolijohdekiekkojen tai -komponenttien (myös integroidut piirit) tarkastamista tai puolijohdekomponenttien (myös integroidut piirit) valmistuksessa käytettävien maskien ja hiusristikoiden kuvioiden tarkastamista varten