8414101500
- Ilma- tai tyhjiöpumput, ilma- ja muut kaasukompressorit sekä tuulettimet; tuuletus- tai ilmankiertokuvut sisäänrakennetuin tuulettimin, myös jos niissä on suodattimet; kaasutiiviit biologiset turvakaapit, myös suodattimilla varustetut
- tyhjiöpumput
- jollaisia käytetään puolijohteiden valmistuksessa tai yksinomaan tai pääasiassa litteiden näyttöjen valmistuksessa