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- Instrumentos, máquinas y aparatos para medida o control, no expresados ni comprendidos en otra parte de este Capítulo; proyectores de perfiles
- Los demás instrumentos y aparatos, ópticos
- Para control de obleas ("wafers") o dispositivos semiconductores (incluidos los circuitos integrados), o para control de máscaras fotográficas o retículas utilizadas en la fabricación de dispositivos semiconductores (incluidos los circuitos integrados)