8414101500
- Luftpumper, vakuumpumper, luft- og andre gaskompressorer samt ventilatorer; emhætter med indbygget ventilator, også med filter; gastætte biologiske sikkerhedskabinetter, også med filter
- Vakuumpumper
- Af den art der anvendes til fremstilling af halvledere eller udelukkende eller hovedsagelig anvendes til fremstilling af fladskærme