9031410000
- Инструменти, апарати и машини за измерване или контрол, неупоменати, нито включени другаде в настоящата глава; профилпроектори
- Други оптични инструменти и апарати
- За контрол на полупроводникови пластини (wafers) и прибори (включително интегрални схеми) или за контрол на фотомаски или междинни фотошаблони, използвани в процеса на производството на полупроводникови прибори (включително интегрални схеми)