9030820000
- Осцилоскопи, спектрални анализатори и други инструменти и апарати за измерване или контрол на електрическите величини; инструменти и апарати за измерване или откриване на алфа, бета, гама, рентгенови, космически или други йонизиращи лъчения
- Други инструменти и апарати
- За измерване или контрол на полупроводникови пластини (wafers) или на полупроводникови прибори (включително интегрални схеми)