8414101500
- Въздушни помпи или вакуумпомпи, въздушни компресори или компресори за други газове и вентилатори; аспирационни чадъри за изсмукване или рециркулация с вграден вентилатор, дори филтриращи; газонепроницаеми камери за биологическа защита, дори филтриращи
- Вакуумпомпи
- От видовете, използвани изключително или главно за производство на полупроводници или дисплеи с плосък екран