8414101500
- Luft- oder Vakuumpumpen, Luft- oder andere Gaskompressoren sowie Ventilatoren; Abluft- oder Umluftabzugshauben mit eingebautem Ventilator, auch mit Filter; gasdichte biologische Sicherheitswerkbänke, auch mit Filter
- Vakuumpumpen
- von der für die Herstellung von Halbleitern oder ausschließlich oder hauptsächlich für die Herstellung von Flachbildschirmen verwendeten Art