8414101500
- Luft- eller vakuumpumpar, kompressorer för luft eller andra gaser samt fläktar och blåsmaskiner; ventilations- eller cirkulationskåpor med inbyggd fläkt, även försedda med filter; gastäta biosäkerhetsskåp, även med filter
- Vakuumpumpar
- Av ett slag som används för tillverkning av halvledare eller som uteslutande eller huvudsakligen används för tillverkning av platta bildskärmar