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- Instruments et appareils pour la régulation ou le contrôle automatiques
- autres instruments et appareils
- autres
- Panneau à gaz servant à réguler et mesurer le débit de gaz, fonctionnant avec la technologie plasma, comprenant
- un régulateur de débit massique, adapté pour recevoir et émettre des signaux analogiques et numériques,
- quatre capteurs de pression,
- deux vannes de refoulement ou plus,
- des interfaces électriques et
- plusieurs raccordements pour conduites de gaz
- adapté aux processus de collage plasma in situ ou aux processus d'activation du collage plasma multi-fréquence