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- Instrumentos y aparatos automáticos para regulación o control automáticos
- Los demás instrumentos y aparatos
- Los demás
- Paneles de gas para regular y controlar el caudal de los gases, con tecnología de plasma, formados por:- un regulador electrónico de flujo de masas, adecuado para recibir y enviar señales analógicas y digitales- cuatro transductores de presión,- dos o más válvulas de presión,- interfaces eléctricas, y- varios conectores para conducciones de gas- adecuado para procesos de unión por plasma in-situ o para procesos de activación de uniones multifrecuencia